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湿度被定义为气体中水蒸气的含量，是一个重要的环境参数，常用单位有：克/升，PPM，mmHg，露点及相对湿度等。测量气体湿度的基本量是混合比，即水蒸气质量和干气质量之比，用重量法湿度计得以实现。但用重量法测量混合比技术难度大、操作繁琐，实际测量湿度量值大多数采用露点。习惯上以露点-20℃为界把所测气体分为高湿度气体与低湿度气体（即微量水）。
大气中的水蒸气影响着自然界的物理、化学和生物过程。湿度影响气体的热、电、光和传递方面的特性。环境湿度还影响固体和液体材料中的水分含量，引起材料的尺寸变化，金属材料的腐蚀，甚至决定生物体的存亡。湿度测量和控制广泛应用于航空航天、微电子、原子能、石油化工、电力、气象、仓储等领域。鉴于湿度测量的重要性，各国都在不断更新改造其湿度标准。
红外露点仪原理
利用气体中的水份对红外光谱吸收的特性，可以设计红外式露点仪。该仪器很难测到低露点，主要是红外探测器的峰值探测率还不能达到微量水吸收的量级，还有气体中其他成份含量对红外光谱吸收的干扰。但这是一项很新的技术，对于环境气体水份含量的非接触式在线监测具有重要的意义。如美国米科公司。
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扫描电子显微镜（SEM）是一种大型精密仪器，它利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像。在1932年，Knoll提出了扫描电子显微镜（SEM）可以用于成像放大的概念，并在1935年成功制造出了非常原始的模型。然而，由于不能获得高分辨率的样品表面电子像，SEM一直未能得到进一步发展，仅被用作电子探针X射线微分析仪中的辅助成像装置。
直到1938年，德国科学家阿登纳成功研制出台采用缩小透镜用于透射样品的SEM。此后，在众多科学家的努力下，SEM从理论到仪器结构等方面的问题逐渐得到解决。
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1965年，英国剑桥仪器公司生产的台SEM作为商品出现，它采用二次电子成像技术，分辨率为25纳米，使SEM进入了实用阶段。
1968年，Knoll在美国芝加哥大学成功研制出场发射电子枪，并将其应用于SEM，获得了较高分辨率的透射电子像。1970年，他发表了用扫描透射电镜拍摄的铀和钍中的铀原子和钍原子像，这使SEM又进入了一个新的领域。
2021年，全数字化扫描电子显微镜新品在无锡惠山发布，标志着SEM技术的不断发展和进步。
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